洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,陕西净化工程,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚**器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:吹出面的风速不可有速度上的差异;地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生,空气净化工程,因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电,是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一)电荷等量的均匀的电中性状态,而使电荷过剩,物体呈带电状态,净化工程施工,由于这些电荷平时是不流动的,故称静电。
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,净化工程,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,净化工程公司,人体和衣服的摩擦,净化工程厂房,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,医用净化工程,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。